高纯度液氮发生器的工作原理主要基于空气分离和液化的物理过程，具体步骤如下：

空气压缩：将空气压缩至一定压力，为后续分离和液化过程提供条件。

预处理：去除空气中的水分、二氧化碳等杂质，防止它们在低温下冻结并堵塞管道或损坏设备。

分离：利用变压吸附（PSA）等技术，将空气中的氮气与其他气体分离，得到高纯度的氮气。

氮气冷却与液化：将分离出的高纯度氮气通过深冷混合工质节流制冷工艺、逆向斯特林循环制冷技术或脉管低温制冷机工艺等，冷却至氮气的沸点以下，使其液化成液氮。

液氮收集与储存：将液化后的氮气收集并储存于绝热的压力容器中，以保持其低温状态。

操作要点

开机前检查气源、电源、冷却水，确保无泄漏。

一键启动，设备全自动制氮、液化、储存，液位满自动停机。

取液用真空绝热管道，避免冻伤与污染。

长期停用：排空液氮、保持杜瓦罐真空、每月通电自检。